Baza Publikacji Pracowników Politechniki Lubelskiej

Status:
Warianty tytułu:	Two-stage formation of titanium disilicate
Autorzy:	Żukowski Paweł, Karwat Czesław, Kozak Czesław, Kolos Vladimir V., Markevich Maria I., Stelmakh Viaczeslav F., Chaplanov Arkadij M.
Rok wydania:	2011
Wersja dokumentu:	Drukowana
Język:	polski
Numer czasopisma:	11
Strony:	74 - 75
Efekt badań statutowych	NIE
Materiał konferencyjny:	NIE
Publikacja OA:	NIE
Abstrakty:	polski \| angielski
	Niniejszy artykuł poświęcony jest formowaniu dwukrzemianu tytanu w układzie TiN/Ti/Si przy szybkiej obróbce termicznej (SOT) w dwóch etapach. Wyniki badań pokazują, że szybka obróbka termiczna w dwóch etapach (pierwszy etap - przy temperaturze 650° C, drugi - przy 850°C) pozwala uformować warstwę niskoomowego dwukrzemianu tytanu o modyfikacji C54. Ochronna warstwa azotku tytanu podczas SOT prowadzi do bardziej jednorodnego formowania się rozmiarów ziaren w układzie TiN/Ti/Si.
	The work is devoted to investiqation of formation phase TiSi₂ in the TiN/Ti/Si system during a two-stage rapid heat treatment (RHT). The investigation results indicate that RHT involving two stages the first of which is carried out at the temperature of 650°C and the second at 850°C enables formation of a low-resistance titanium disilicide layer of C54 modification. Protective nitride layer during the RHT leads toa more uniform formation of grain sizes in the TiN/Ti/Si structure.

Dwuetapowe formowanie dwukrzemianu tytanu