Dwuetapowe formowanie dwukrzemianu tytanu
Artykuł w czasopiśmie
MNiSW
6
Lista B
| Status: | |
| Warianty tytułu: |
Two-stage formation of titanium disilicate
|
| Autorzy: | Żukowski Paweł, Karwat Czesław, Kozak Czesław, Kolos Vladimir V., Markevich Maria I., Stelmakh Viaczeslav F., Chaplanov Arkadij M. |
| Rok wydania: | 2011 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana |
| Język: | polski |
| Numer czasopisma: | 11 |
| Strony: | 74 - 75 |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | NIE |
| Abstrakty: | polski | angielski |
| Niniejszy artykuł poświęcony jest formowaniu dwukrzemianu tytanu w układzie TiN/Ti/Si przy szybkiej obróbce termicznej (SOT) w dwóch etapach. Wyniki badań pokazują, że szybka obróbka termiczna w dwóch etapach (pierwszy etap - przy temperaturze 650° C, drugi - przy 850°C) pozwala uformować warstwę niskoomowego dwukrzemianu tytanu o modyfikacji C54. Ochronna warstwa azotku tytanu podczas SOT prowadzi do bardziej jednorodnego formowania się rozmiarów ziaren w układzie TiN/Ti/Si. | |
| The work is devoted to investiqation of formation phase TiSi₂ in the TiN/Ti/Si system during a two-stage rapid heat treatment (RHT). The investigation results indicate that RHT involving two stages the first of which is carried out at the temperature of 650°C and the second at 850°C enables formation of a low-resistance titanium disilicide layer of C54 modification. Protective nitride layer during the RHT leads toa more uniform formation of grain sizes in the TiN/Ti/Si structure. |
