Design and technology of copper comb capacitors
Fragment książki (Materiały konferencyjne)
MNiSW
15
WOS
Status: | |
Autorzy: | Kociubiński Andrzej, Szypulski Maciej, Zarzeczny Dawid, Lizak Tomasz, Muzyka Krzysztof, Prendecka Monika, Malecka-Massalska Teresa |
Dyscypliny: | |
Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
Arkusze wydawnicze: | 0,5 |
Język: | angielski |
Strony: | 1677 - 1682 |
Web of Science® Times Cited: | 0 |
Scopus® Cytowania: | 0 |
Bazy: | Web of Science | Scopus |
Efekt badań statutowych | NIE |
Materiał konferencyjny: | TAK |
Nazwa konferencji: | The Summer XLII-nd IEEE-SPIE Joint Symposium on Photonics, Web Engineering, Electronics for Astronomy and HIgh Energy Physic Experiments |
Skrócona nazwa konferencji: | XLII SPIE-IEEE-PSP 2018 |
URL serii konferencji: | LINK |
Termin konferencji: | 3 czerwca 2018 do 10 czerwca 2018 |
Miasto konferencji: | Wilga |
Państwo konferencji: | POLSKA |
Publikacja OA: | NIE |
Abstrakty: | angielski |
The article presents the construction and technology of comb capacitors on a polycarbonate substrates. The structures have been designed to be used in the ECIS measurement system that allows monitoring the activity of the examined cells by analyzing the changing electrical parameters impedance, resistance and capacitance in real time. The copper layer was embedded by sputtering method. The resulting comb capacitors were used in a test sample of substances with different chemical properties. |