Modeling and simulation of nichrome microheater on polycarbonate substrate
Fragment książki (Materiały konferencyjne)
MNiSW
15
WOS
| Status: | |
| Autorzy: | Lizak Tomasz, Szypulski Maciej, Zarzeczny Dawid, Muzyka Krzysztof, Kociubiński Andrzej |
| Dyscypliny: | |
| Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Arkusze wydawnicze: | 0,6 |
| Język: | angielski |
| Strony: | 1568 - 1576 |
| Web of Science® Times Cited: | 0 |
| Scopus® Cytowania: | 1 |
| Bazy: | Web of Science | Scopus |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | TAK |
| Nazwa konferencji: | The Summer XLII-nd IEEE-SPIE Joint Symposium on Photonics, Web Engineering, Electronics for Astronomy and HIgh Energy Physic Experiments |
| Termin konferencji: | 3 czerwca 2018 do 10 czerwca 2018 |
| Miasto konferencji: | Wilga |
| Państwo konferencji: | POLSKA |
| Publikacja OA: | NIE |
| Abstrakty: | angielski |
| This paper presents the design and simulation of four different structures of nichrome microheater on the polycarbonate substrate. Nichrome layer is covered by the silicon nitride dielectric layer. The comb capacitor covering dielectric layer is used for measuring electrical parameters of liquids. Designed structure allows impedance, resistance and capacitance monitoring of studied substances like chemical or biological liquids, which require constant heating value on the substrate surface. 3D model design and electro-thermal finite elements simulations were carried out by CoventorWare (TM) software. Various shapes of the heaters were studied to check the uniformity heating on the active surface. |
