Optical studies of nanocrystalline and amorphous TiO2 thin films deposited by HiTUS technique
Fragment książki (Materiały konferencyjne)
MNiSW
15
WOS
| Status: | |
| Autorzy: | Studenyak Ihor P., Nahusko Olexander , Izai Vitalii Yu., Kranjčec Mladen, Kus Peter, Mussabekov Kanat, Kociubiński Andrzej |
| Dyscypliny: | |
| Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Arkusze wydawnicze: | 0,6 |
| Język: | angielski |
| Web of Science® Times Cited: | 0 |
| Scopus® Cytowania: | 0 |
| Bazy: | Web of Science | Scopus |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | TAK |
| Nazwa konferencji: | The Summer XLII-nd IEEE-SPIE Joint Symposium on Photonics, Web Engineering, Electronics for Astronomy and HIgh Energy Physic Experiments |
| Skrócona nazwa konferencji: | XLII SPIE-IEEE-PSP 2018 |
| URL serii konferencji: | LINK |
| Termin konferencji: | 3 czerwca 2018 do 10 czerwca 2018 |
| Miasto konferencji: | Wilga |
| Państwo konferencji: | POLSKA |
| Publikacja OA: | NIE |
| Abstrakty: | angielski |
| TiO2 thin films were deposited on glass substrates by HiTUS (high target utilization sputtering) technique. Structural studies of TiO2 thin films of different thickness were performed by X-ray diffraction. Refractive index and extinction coefficient were measured by spectroscopic ellipsometer. Transmission spectra of TiO2 thin films were investigated in the temperature interval 77-300 K. The temperature behaviour of Urbach absorption edge for TiO2 thin film was studied. The effect of temperature on the optical parameters and order-disorder processes in TiO2 thin films was analysed. |
