Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w krzemowych strukturach półprzewodnikowych
Patent
MNiSW
25
WUP
Uprawniony: | Politechnika Lubelska |
Twórcy: | Żukowski Paweł, Węgierek Paweł, Kowalski Marcin |
Nr patentu: | B1 216726 |
Data opublikowania: | 2014 |
Wersja dokumentu: | Drukowana |
Język: | polski |
Numer czasopisma: | 5 |
Strony: | 1115 - 1115 |