Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w krzemowych strukturach półprzewodnikowych
Patent
MNiSW
25
WUP
| Uprawniony: | Politechnika Lubelska |
| Twórcy: | Żukowski Paweł, Węgierek Paweł, Kowalski Marcin |
| Nr patentu: | B1 216726 |
| Data opublikowania: | 2014 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | polski |
| Numer czasopisma: | 5 |
| Strony: | 1115 - 1115 |