Design, modeling and simulation of MEMS devices on Si, SiC and diamond for high-power and harsh enviroment applications
Fragment książki (Abstrakt)
Status: | |
Autorzy: | Kociubiński Andrzej, Bieniek Tomasz, Janczyk Grzegorz, Rakhimov Kirat |
Wersja dokumentu: | Drukowana |
Język: | angielski |
Strony: | 137 - 137 |
Efekt badań statutowych | NIE |
Materiał konferencyjny: | NIE |
Publikacja OA: | NIE |