Design, modeling and simulation of MEMS devices on Si, SiC and diamond for high-power and harsh enviroment applications
Fragment książki (Abstrakt)
| Status: | |
| Autorzy: | Kociubiński Andrzej, Bieniek Tomasz, Janczyk Grzegorz, Rakhimov Kirat |
| Wersja dokumentu: | Drukowana |
| Język: | angielski |
| Strony: | 137 - 137 |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | NIE |