High-Rate High-Density ICP Etching of Germanium
Artykuł w czasopiśmie
MNiSW
20
Lista 2021
| Status: | |
| Autorzy: | Lagov P. B., Maslovsky Vladimir M., Pavlov Yu. S., Rogovsky E. S., Drenin A. S., Bondariev Vitalii |
| Dyscypliny: | |
| Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
| Rok wydania: | 2019 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | angielski |
| Numer czasopisma: | 1 |
| Wolumen/Tom: | 23 |
| Strony: | 57 - 70 |
| Web of Science® Times Cited: | 0 |
| Scopus® Cytowania: | 0 |
| Bazy: | Web of Science | Scopus |
| Efekt badań statutowych | TAK |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | NIE |
