Co-implantation of stibium and phosphorus into silicon
Referat wygłoszony
Status: | |
Autorzy: | Sadovski P.K., Chelyadinskii A.R., Odzhaev Vladimir B., Węgierek Paweł |
Rok wydania: | 2011 |
URL do źródła | LINK |
Język: | angielski |
Źródło: | 7th International Conference New Electrical and Electronic Technologies and their Industrial Implementation Zakopane, Poland, June 28 – July 1, 2011 |
Państwo wystąpienia: | POLSKA |
Efekt badań statutowych | NIE |