Co-implantation of stibium and phosphorus into silicon
Referat wygłoszony
| Status: | |
| Autorzy: | Sadovski P.K., Chelyadinskii A.R., Odzhaev Vladimir B., Węgierek Paweł |
| Rok wydania: | 2011 |
| Język: | angielski |
| Źródło: | 7th International Conference New Electrical and Electronic Technologies and their Industrial Implementation |
| Miasto wystąpienia: | Zakopane |
| Państwo wystąpienia: | POLSKA |
| Efekt badań statutowych | NIE |