Properties of AIN films deposited to silicon substrates using magnetron
Referat wygłoszony
| Status: | |
| Autorzy: | Pogrebnjak Alexander D., Muhammed Abid A., Ivashchenko M.M., Partyka Janusz |
| Rok wydania: | 2012 |
| Język: | angielski |
| Źródło: | IX International Conference on Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons, 25-28 June, 2012, Kazimierz Dolny |
| Miasto wystąpienia: | Kazimierz Dolny |
| Państwo wystąpienia: | POLSKA |
| Efekt badań statutowych | NIE |
