
Novel methodology for 3D MEMS-IC design and co-simulation on MEMS microphone smart system example
Referat wygłoszony
Status: | |
Autorzy: | Bieniek Tomasz, Janczyk Grzegorz, Ekwińska Magdalena, Budzyński Tomasz, Głuszko Grzegorz, Kociubiński Andrzej |
Rok wydania: | 2015 |
URL do źródła | LINK |
Język: | angielski |
Źródło: | 3D Systems Integration Conference (3DIC), 2014 International |
Miasto wystąpienia: | Kinsdale |
Państwo wystąpienia: | IRLANDIA |
Efekt badań statutowych | NIE |
Abstrakty: | angielski |