An effect of rapid thermal annealing on the structure of TiN/Ti/Si
Artykuł w czasopiśmie
| Status: | |
| Warianty tytułu: |
Wpływ szybkiego wygrzewania termicznego na strukturę TiN/Ti/Si
|
| Autorzy: | Yemelianenko Yuri, Kolos Vladimir V., Markevich Maria I., Stelmakh Viaczeslav F., Chaplanov Arkadij M., Karwat Czesław |
| Rok wydania: | 2010 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | angielski |
| Numer czasopisma: | 7 |
| Wolumen/Tom: | 86 |
| Strony: | 26 - 28 |
| Impact Factor: | 0,242 |
| Bazy: | BazTech |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | NIE |
| Abstrakty: | angielski | polski |
| The structure-phase transformations that occur in TiN/Ti/Si system during pulse photon processing carried out with the incoherent light have been investigated using TEM method. The electrical and optical properties of C49 TiSi2 have been also studied. | |
| Przeprowadzono badania transformacji strukturalno-fazowych, jakie występują w układzie TiN/Ti/Si podczas obróbki impulsowofotonowej światłem niespójnym przy użyciu metody elektronowej mikroskopii transmisyjnej (TEM). Badano również właściwości elektryczne i optyczne C49 TiSi2. |
