Использование термоэлектрических эффектов тонких полупроводниковых пленок для создания химических газовых сенсоров
Artykuł w czasopiśmie
Status: | |
Warianty tytułu: |
Badania możliwości wykorzystania siły termoelektrycznej generowanej w cienkich warstwach półprzewodnikowych tlenków metali do wytwarzania czujników gazów
Application of thermoelectric effect in thin film semiconductor metal oxide to manufacture of gas sensors
|
Autorzy: | Luhin Valery G., Zharsky Ivan, Żukowski Paweł, Partyka Janusz |
Rok wydania: | 2008 |
Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
Język: | polski | angielski | białoruski |
Numer czasopisma: | 3 |
Wolumen/Tom: | 84 |
Strony: | 174 - 177 |
Bazy: | BazTech |
Efekt badań statutowych | NIE |
Materiał konferencyjny: | NIE |
Publikacja OA: | NIE |
Abstrakty: | białoruski | polski | angielski |
В данной работе исследована возможность использования термо-ЭДС, генерируемой в тонких пленках металлооксидных полупроводников, для регистрации адсорбционного отклика химических газовых сенсоров. Принцип детектирования основан на зависимости величины термо-ЭДС чувствительного элемента, при фиксированном градиенте температуры, от качественного и количественного состава газовой среды. | |
Zbadano możliwości wykorzystania siły termoelektrycznej generowanej w cienkich warstwach półprzewodnikowych tlenków metali do wytwarzania czujników gazów. Zasada detekcji oparta na zależności termo SEM przy stałym gradiencie temperatury od jakościowego i ilościowego składu gazu. | |
It was investigated the possibility of application of thermoelectric effect in thin film semiconductor metal oxide to manufacture of gas sensors. The gas detection principle utilizes the dependence of thermoelectric signal by fixed temperature gradient on gas composition. |