Metrological aspects of piezoresistors arrangements on the membrane in miniaturized pressure sensors
Artykuł w czasopiśmie
| Status: | |
| Warianty tytułu: |
Właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia
|
| Autorzy: | Lozbin Viktor, Majewski Jacek |
| Rok wydania: | 2008 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | angielski |
| Numer czasopisma: | 3 |
| Wolumen/Tom: | 84 |
| Strony: | 200 - 203 |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | NIE |
| Abstrakty: | polski | angielski |
| W artykule przeanalizowano wybrane właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych – o kształcie wycinka pierścienia kołowego lub o kształcie prostokąta - stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia o membranie kołowej. Podano wzory opisujące rezystancję piezorezystorów w stanie nieobciążonym oraz poddanych odkształceniom dla różnych ich położeń na powierzchni membrany. | |
| A theoretical analysis concerning metrological features of thick film piezoresistors placed on circular edge-clamped membrane in pressure sensors is described. The change of resistance of a thick film piezoresistor, caused by the deflection of the membrane, related to the distance from the membrane centre and the width of the piezoresistor, is evaluated. Analytical expressions for different piezoresistors arrangements are presented and discussed. |
