Baza Publikacji Pracowników Politechniki Lubelskiej

Status:
Autorzy:	Kociubiński Andrzej, Duk Mariusz, Bieniek Tomasz, Janczyk Grzegorz
Rok wydania:	2010
Wersja dokumentu:	Drukowana \| Elektroniczna
Język:	polski
Numer czasopisma:	7
Wolumen/Tom:	86
Strony:	221 - 223
Impact Factor:	0,242
Bazy:	BazTech
Efekt badań statutowych	NIE
Materiał konferencyjny:	NIE
Publikacja OA:	NIE
Abstrakty:	polski \| angielski
	W artykule przedstawiono i omówiono zastosowanie warstw diamentowych osadzanych metodą CVD w systemach typu MEMS i MOEMS. Porównano fizyczne właściwości warstw diamentowych z właściwościami krzemu. Jako przykład przedstawiono założenia i wyniki symulacji typowej struktury mikromechanicznej wytworzonej z warstwy diamentowej i warstwy krzemowej. Wszystkie symulacje zostały wykonane dedykowanym oprogramowaniem do symulacji systemów typu MEMS - CoventorWare ™.
	of CVD diamond layers have been compared with silicon layer properties. As an example of diamond-based and silicon-based devices, modeling issues and results of simulations performed for typical MEMS structure have been presented and discussed. All simulations have been carried out within the specialized simulation environment - CoventorWare™.

Zaawansowane modelowanie warstw diamentowych CVD w zastosowaniach MEMS/MOEMS