Informacja o cookies

Zgadzam się Nasza strona zapisuje niewielkie pliki tekstowe, nazywane ciasteczkami (ang. cookies) na Twoim urządzeniu w celu lepszego dostosowania treści oraz dla celów statystycznych. Możesz wyłączyć możliwość ich zapisu, zmieniając ustawienia Twojej przeglądarki. Korzystanie z naszej strony bez zmiany ustawień oznacza zgodę na przechowywanie cookies w Twoim urządzeniu.

Publikacje Pracowników Politechniki Lubelskiej

Publikacje Pracowników PL z lat 1990-2010

Publikacje pracowników Politechniki Lubelskie z lat 1990-2010 dostępne są jak dotychczas w starej bazie publikacji
LINK DO STAREJ BAZY

MNiSW
15
Lista A
Status:
Autorzy: Luhin Valery G., Zharsky Ivan, Żukowski Paweł
Rok wydania: 2013
Wersja dokumentu: Drukowana | Elektroniczna
Język: angielski
Numer czasopisma: 5
Wolumen/Tom: 123
Strony: 837 - 839
Web of Science® Times Cited: 10
Scopus® Cytowania: 10
Bazy: Web of Science | Scopus | Web of Science Core Collection
Efekt badań statutowych NIE
Materiał konferencyjny: NIE
Publikacja OA: TAK
Licencja:
Sposób udostępnienia: Witryna wydawcy
Wersja tekstu: Ostateczna wersja opublikowana
Czas opublikowania: W momencie opublikowania
Abstrakty: angielski
In this paper the technology of gas sensitive semiconductor structures based on indium oxide thin films by DC magnetron sputtering of indium with the subsequent thermal oxidation is developed. Structure, surface morphology and chemical composition of the obtained films have been investigated by electron diffraction, scanning electron microscopy, Auger electron spectroscopy, and X-ray photoelectron spectroscopy. Conditions of In2O3 films formation with high selectivity and sensitivity to NO2, and NH3 are established