Thermal Desorption of Argon Implanted into Gallium Arsenide
Artykuł w czasopiśmie
MNiSW
100
Lista 2021
| Status: | |
| Autorzy: | Turek Marcin, Droździel Andrzej, Pyszniak Krzysztof, Węgierek Paweł |
| Dyscypliny: | |
| Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
| Rok wydania: | 2022 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | angielski |
| Numer czasopisma: | 4 |
| Wolumen/Tom: | 16 |
| Strony: | 318 - 326 |
| Web of Science® Times Cited: | 1 |
| Scopus® Cytowania: | 1 |
| Bazy: | Web of Science | Scopus |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Finansowanie: | The publication of the paper is supported by the “Excellence in Science” program of the Polish Ministry of Education and Science (“Międzynarodowa Konferencja “Implantacja jonowa i inne zastosowania jonów i elektronów ION’2022”). |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | TAK |
| Licencja: | |
| Sposób udostępnienia: | Otwarte czasopismo |
| Wersja tekstu: | Ostateczna wersja opublikowana |
| Czas opublikowania: | W momencie opublikowania |
| Data opublikowania w OA: | 5 września 2022 |
| Abstrakty: | angielski |
| Thermal desorption of Argon (Ar) implanted with energies 150 keV and 100 keV with fluence 1×1016 cm-2 into gallium arsenide is considered. A sudden release of Ar is observed in temperature range 1100–1180 K as a single narrow peak in TDS (Thermal Desorption Spectroscopy) spectra. This is accompanied by a strong background signal from atmospheric Ar trapped in various parts of the spectrometer. Desorption peak shift analysis allows estimation of desorption activation energy values – these are 3.6 eV and 2.5 eV for implantation energies 150 keV and 100 keV, respectively. These results are comparable to that measured for Ar implanted into germanium target. |
