New Approach to Non-Volatile Metal Ion Production Using Plasma Ion Source with Internal Evaporator
Artykuł w czasopiśmie
MNiSW
100
Lista 2021
| Status: | |
| Autorzy: | Turek Marcin, Droździel Andrzej, Pyszniak Krzysztof, Filiks Janusz, Węgierek Paweł |
| Dyscypliny: | |
| Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
| Rok wydania: | 2022 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | angielski |
| Numer czasopisma: | 5 |
| Wolumen/Tom: | 16 |
| Strony: | 20 - 27 |
| Web of Science® Times Cited: | 0 |
| Scopus® Cytowania: | 0 |
| Bazy: | Web of Science | Scopus |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Finansowanie: | The publication of the paper is supported by the “Excellence in Science” program of the Polish Ministry of Education and Science (Międzynarodowa Konferencja “Implantacja jonowa i inne zastosowania jonów i elektronów ION’2020” ) |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | TAK |
| Licencja: | |
| Sposób udostępnienia: | Otwarte czasopismo |
| Wersja tekstu: | Ostateczna wersja opublikowana |
| Czas opublikowania: | W momencie opublikowania |
| Data opublikowania w OA: | 1 listopada 2022 |
| Abstrakty: | angielski |
| A new approach to application the internal evaporator in an arc discharge ion source is presented, namely a cru- cible with a plug made of feeding substance. This solution is suitable especially for high-melting point metallic feeding substances. The ion source was tested using Ni and Cr. Basic ion source characteristics, i.e. dependences of ion current and discharge voltage on discharge and filament currents as well as on the external magnetic field flux density are shown and discussed in order to find optimal working conditions. The maximal ion currents were 18 mA for Ni+ and 38 mA for Cr+. The stability of the ion current was also tested. It was proven that ion source is able to provide intense ion beam current long enough to perform irradiations with the fluence of ~5×1015 cm-2 confirming the usefulness of the design for ion implantation purposes. |
