Informacja o cookies

Zgadzam się Nasza strona zapisuje niewielkie pliki tekstowe, nazywane ciasteczkami (ang. cookies) na Twoim urządzeniu w celu lepszego dostosowania treści oraz dla celów statystycznych. Możesz wyłączyć możliwość ich zapisu, zmieniając ustawienia Twojej przeglądarki. Korzystanie z naszej strony bez zmiany ustawień oznacza zgodę na przechowywanie cookies w Twoim urządzeniu.

Publikacje Pracowników Politechniki Lubelskiej

Publikacje Pracowników PL z lat 1990-2010

Publikacje pracowników Politechniki Lubelskie z lat 1990-2010 dostępne są jak dotychczas w starej bazie publikacji
LINK DO STAREJ BAZY

MNiSW
15
Lista A
Status:
Autorzy: Kociubiński Andrzej, Bieniek Tomasz, Janczyk Grzegorz
Rok wydania: 2014
Wersja dokumentu: Drukowana | Elektroniczna
Język: angielski
Numer czasopisma: 6
Wolumen/Tom: 125
Strony: 1374 - 1376
Web of Science® Times Cited: 11
Scopus® Cytowania: 13
Bazy: Web of Science | Scopus | Web o Science | Google Scholar
Efekt badań statutowych NIE
Materiał konferencyjny: NIE
Publikacja OA: TAK
Licencja:
Sposób udostępnienia: Witryna wydawcy
Wersja tekstu: Ostateczna wersja opublikowana
Czas opublikowania: W momencie opublikowania
Abstrakty: angielski
Set of micromechanical (MEMS) test structures designed for fabrication on silicon, silicon carbide and diamond substrates has been successfully designed. A dedicated mask-set development has been carried along with numerical simulations performed with assistance of a dedicated design and modelling CoventorWare (TM)-toolset by Coventor. A set of sample simulations presented in this paper has been performed for specific simulation domains focused on silicon-alternative material reality to proof the usefulness of proposed substrates. The aim was to verify its applicability for MEMS design and confirm an outstanding performance of the resulting device which effectively opens a new area of interest for subsequent research and development efforts.