Production of molybdenum and tantalum ion beams using CCl2F2
Artykuł w czasopiśmie
MNiSW
15
Lista A
| Status: | |
| Autorzy: | Turek Marcin, Droździel Andrzej, Pyszniak Krzysztof, Filiks Janusz, Prucnal Sławomir, Mączka Dariusz, Vaganov Yuriy, Węgierek Paweł |
| Dyscypliny: | |
| Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
| Rok wydania: | 2017 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | angielski |
| Numer czasopisma: | 2 |
| Wolumen/Tom: | 132 |
| Strony: | 283 - 287 |
| Web of Science® Times Cited: | 1 |
| Scopus® Cytowania: | 1 |
| Bazy: | Web of Science | Scopus |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | TAK |
| Licencja: | |
| Sposób udostępnienia: | Otwarte czasopismo |
| Wersja tekstu: | Ostateczna wersja opublikowana |
| Czas opublikowania: | W momencie opublikowania |
| Data opublikowania w OA: | 1 lutego 2017 |
| Abstrakty: | angielski |
| A new method of refractory metal (like Mo and Ta) ion beam production using the arc discharge ion source and CCl2F2 (dichlorodifluoromethane) used as a feeding gas supported into the discharge chamber is presented. It is based on etching of the refractory metal parts (e.g. anode or a dedicated tube) Cl and F containing plasma. The results of measurements of the dependences of ion currents on the working parameters like discharge and filament currents as well as on the magnetic field flux density of an external electromagnet coil are shown and discussed. The separated Mo + and Ta + beam currents of approximately 22 μ A and 2 μ A, respectively, were obtained. |
