Characteristic features of heating semiconductor silicon structures during rapid thermal treatment in the vlsi technology
Artykuł w czasopiśmie
MNiSW
15
Lista A
| Status: | |
| Autorzy: | Bondariev Vitalii, Gorushko Valentina, Pilipenko Vladimir A., Solodukha Vitali A. |
| Dyscypliny: | |
| Aby zobaczyć szczegóły należy się zalogować. | |
| Rok wydania: | 2018 |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Język: | angielski |
| Numer czasopisma: | 1 |
| Wolumen/Tom: | 22 |
| Strony: | 1 - 6 |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | NIE |
| Publikacja OA: | NIE |
