Tehnologiâ èlektronnoj tehniki. V šesti tomach. T. 3, Processy èpitaksii i ionnoj implantacii. Lazernaâ plazmennaâ i èlektronno – lučevaâ obrabotka materialov
Monografia
ISBN: 978-601-228-581-9
Status: | |
Autorzy: | Hotra Zenon, Wójcik Waldemar, Suleimenov Batyrbek |
Rok wydania: | 2013 |
Serie: |
Tehnologiâ èlektronnoj tehniki. V šesti tomach
|
Wersja dokumentu: | Drukowana |
Język: | rosyjski |
Liczba stron: | 416 |
Miejsce wydania: | Almaty, Kazahstan |
Wydawnictwo: | Učebnyj - izdatelʹskij centr KazNTU |
Efekt badań statutowych | NIE |
Materiał konferencyjny: | NIE |
Publikacja OA: | NIE |