AC Measurements and dielectric properties of nitrogen-rich silicon nitride thin films
Fragment książki (Materiały konferencyjne)
| Status: | |
| Autorzy: | Czarnacka Karolina, Żukowski Paweł, Komarov Fadei F., Romanov Ivan A., Parkhomenko Irina N. |
| Dyscypliny: | |
| Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
| Arkusze wydawnicze: | 0,6 |
| Język: | angielski |
| Strony: | 1 - 4 |
| Scopus® Cytowania: | 3 |
| Bazy: | Scopus |
| Efekt badań statutowych | NIE |
| Materiał konferencyjny: | TAK |
| Publikacja OA: | NIE |
