
Development of Deposition Technology and AC Measurement of Copper Ultrathin Layers
Artykuł w czasopiśmie
MNiSW
20
Lista 2021
Status: | |
Warianty tytułu: |
Opracowanie technologii osadzania i pomiarów zmeinnoprądowych ultracienkich warstw miedzi
|
Autorzy: | Wilczyńska Aleksandra, Czarnacka Karolina, Kociubiński Andrzej, Kołtunowicz Tomasz |
Dyscypliny: | |
Rok wydania: | 2022 |
Wersja dokumentu: | Drukowana | Elektroniczna |
Język: | angielski |
Numer czasopisma: | 1 |
Wolumen/Tom: | 12 |
Strony: | 36 - 39 |
Scopus® Cytowania: | 0 |
Bazy: | Scopus |
Efekt badań statutowych | NIE |
Materiał konferencyjny: | NIE |
Publikacja OA: | TAK |
Abstrakty: | angielski | polski |